°øÁö»çÇ×
°¶·¯¸®°Ô½ÃÆÇ
±×¸°¸¶Æ®
ÀÚ·á½Ç
»ç³»°Ô½ÃÆÇ
ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ
¿Â¶óÀι®ÀÇ
home > Ä¿¹Â´ÏƼ > ÀÚ·á½Ç
¹ÝµµÃ¼ Etch °øÁ¤¿¡¼ Peltier ChillerÀÇ Æ¯¼ºÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â ÀÌÀ¯¸¦ óÀ½ ºÐ¼®ÇÏ°Ô µÇ¾ú´ø °ÍÀº 12³â Àü¿¡ °ËÅä ÀÛ¼ºÇß´ø ÀڷḦ ÅëÇØ¼ ¼³¸í ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ±× ¶§ ´ç½Ã¸¦ »ý°¢ÇØ º¸¸é °³³äÀûÀ¸·Î °øÁ¤ÀÇ ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ ºÐ¼®ÇÔ¿¡ ÀÖ¾î¼ ¿ë·®¿¡ ¸ôÀÔ µÇ¾î ÀÖ´Â ±âÁ¸ °³³äÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§ÇÑ ½ÇÇè °ËÁõ Data¸¦ ¸¸µå´Âµ¥ ÁÖ·ÂÇß´ø ±â¾ïÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ³»°¡ ºÐ¼®ÇÑ °í°´ÀÇ Needs´Â ¿¡³ÊÁö¸¦ Àý¾àÇÏ¸é¼ ¿Âµµ º¯È¿¡ ´ëÇÑ ¹ÝÀÀ ¼Óµµ¸¦ ³ô¿© CD »êÆ÷¸¦ ÁÙÀÌ´Â °ÍÀÌ ¸ñÇ¥¿´½À´Ï´Ù. ´Ü¼øÇÏ°Ô Ä¥·¯ÀÇ ¿ë·®(³Ã°¢¿ë·®, ¼øÈ¯¾Ð·Â,À¯·®)À» Ű¿ì´Â °ÍÀ¸·Î´Â ºÒ°¡´É Çß´ø »óȲÀ̾ú´Âµ¥ °í°´Àº ¿ë·® Áõ°¡°¡ÇØ´äÀ̶ó´Â °³³ä¿¡¼ ¹þ¾î³ªÁö ¸øÇÏ´Â °Í °°¾ÒÁÒ. ±âÁ¸ ³Ãµ¿½Ä Ä¥·¯º¸´Ù ÀÛÀº ¿ë·®, ÀÛÀº Å©±â·Î ¿Âµµ Á¦¾î°¡ °¡´ÉÇÏ´Ù´Â °ÍÀ» ¸ÕÀú Áõ¸íÇØ¾ß µÇ¾úÀ¸¸ç ±âÁ¸ °ø±Þ ¿Âµµ Á¦¾î ±âÁØ¿¡¼ ȸ¼ö ¿Âµµ¸¦ Á¦¾î ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» ¶§ WaferÀÇ CD »êÆ÷°¡ °³¼±µÈ´Ù´Â °ÍÀ» Áõ¸íÇØ¾ß µÇ´Â °úÁ¦¿´´ø °ÍÀÔ´Ï´Ù. 1. ±ÙÁ¢¿¡ ¼³Ä¡µÉ ¼ö ÀÖ´Â ÀÛÀº Å©±âÁö¸¸ Coolant ¼øÈ¯ ¼Óµµ Áï Á¦¾î ÁֱⰡ ÈξÀ »¡¶óÁø´Ù´Â °Í. 2. Peliier Ư¼º Áï Àü±âÀû ½ÅÈ£¸¦ ¿ º¯È¯ Ãâ·ÂÀ¸·Î DynamicÇÏ°Ô º¯È¯ÇÏ´Â ¿ º¯È¯ ¼Óµµ À§ 2°¡Áö Ư¼ºÀÌ ÇÙ½ÉÀÌ µË´Ï´Ù.